Simulation of Deposition Processes with Pecvd Apparatus: Theory and Applicatios

Simulation of Deposition Processes with Pecvd Apparatus: Theory and Applicatios

Author: Juergen Geiser, Meraa Arab

Format: Hardcover

Pages: 144

ISBN: 9781621003656

Language: English

Publisher: Nova Science Publishers

Release Date: January 01, 2012

Description du Livre

This book discusses the study of simulating the growth of a thin film by chemical vapour deposition (CVD) processes. In recent years, due to the research in producing high-temperature films by depositing low pressures, the processes have increased and understanding the control mechanism of such processes has become very important. An underlying hierarchy of models for low-temperature and low-pressure plasma is presented in order to discuss the processes that can be used to implant or deposit thin layers of important materials. Due to the multi-scale problem of the flow and reaction processes, the authors propose multi-scale problems which are divided into near-field and far-field models.

Commentaires
Gradasso Martel
Leur Miracle de Noel était le meilleur livre que j’ai jamais acheter. Leur Miracle de Noel a fait exactement ce que tu as dit qu’il faisait.
Émilie Aucoin
Mes amis sont tellement fous qu’ils ne savent pas comment j’ai tous les ebook de haute qualité qu’ils n’ont pas!
Blanchefle Morneau
Enfin, je reçois cet ebook, merci pour tous ces miracles de Noël que je peux obtenir maintenant!
Alphonse Ratté
Je tiens à vous remercier personnellement pour vos livres exceptionnels. C’est vraiment merveilleux.
Andrée Bédard
Je vous recommanderai à mes collègues. Leur miracle de Noël est les livres les plus précieux que nous ayons jamais achetés. Je serais perdu sans ça. Je suis complète ment époustouflé.